主要功能:
适应多种应用场景的激光微细直刻加工,包括各种厚度的软板、硬板、软硬结合板精密切割钻孔,以及陶瓷基板、LTCC、FR4、FR5、CEM、PI、铜、金、银、铝等金属合金材料,可在材料上定深刻蚀、图形直接激光刻蚀、切割打孔,异形切割等加工等。
主要性能指标:
激光波长355nm,激光器频率400~300 kHz;激光器平均功率:20 W@50 kHz;
单脉冲能量:400 μJ;
激光器脉冲宽度:≤15 ns;
光斑质量:M²≤1.2,光斑圆度:≥90%;
最大加工区域350 mm×350 mm。